MEMS的概念最早在1960年代提出來，但是一直到1980年代才真正進入商業(yè)化。工程師和科學(xué)家們想基于集成電路制造技術(shù)來做MEMS，最好是能做到一片芯片上。MEMS最早的商業(yè)應(yīng)用案例之一是噴墨打印機墨盒上的小噴嘴。每臺打印機打印頭上的噴嘴包括了一個中空的腔。打印用的墨流到其中，利用微小的電加熱器加熱，然后通過噴口噴出。這個空腔就是基于同集成電路一樣的光刻技術(shù)制造的。

1982年，汽車的氣囊系統(tǒng)（最早在1950年代推出）也開始利用MEMS技術(shù)來檢測是否有碰撞發(fā)生。最早是模擬器件公司（Analog Devices）進一步發(fā)展了這個想法，1991年，這家公司開發(fā)出用于氣囊系統(tǒng)的加速器芯片用于檢測突然的車速下降，其中機械和電子部分都集成在一個芯片上。后來他們還開發(fā)出用于汽車的全球定位系統(tǒng)的片上陀螺儀。

信息來源
https://ethw.org/MEMS#:~:text=MEMS%20were%20first%20proposed%20in%20the%201960s%2C%20but,connected%20to%20electronic%20circuits%20on%20the%20same%20chip.